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    显影机

    • 型号汶颢
    • 模式

    显影机是针对微流控芯片实验室设计的,用于光刻工艺中的显影过程。显影机可以代替了微流控芯片制作过程中的手动显影,克服了手动显影的显影时间不可控,而且还能减少操作人员对硅片/芯片的损坏。

    1. 详细信息

    光刻工艺显影机

    显影机是对光刻硅片进行显影的自动化仪器,可以满足不同规格的硅片显影。显影腔体为SUS304材料的耐腐蚀腔体,可根据硅片规格自动注入对应量的显影液,并具有模仿人工摇晃功能,可自动排除废液。

    显影机是汶颢股份自主研发、具有独立知识产权的设备。

    显影机是针对微流控芯片实验室设计的,用于光刻工艺中的显影过程。

    显影机可以代替了微流控芯片制作过程中的手动显影,克服了手动显影的显影时间不可控,而且还能减少操作人员对硅片/芯片的损坏。

    显影机的主要特点如下:

    1)显影池摇晃震荡频率可设定,保证显影液与硅片等接触充分,提高显影效果与质量;

    2)可根据显影的载体进行精确设定显影托盘升降位置,从而确定显影液的进入添加量,避免显影液的浪费;

    3)显影液可以自动添加与排放,灵活更换;

    4)友好的人机界面设计,保证操作人员的使用体验与安全;

    5)便携性好,方便在实验室移动。

    显影机参数及特点:

            外形尺寸:380X374X300mm;

            硅片规格:≤6英寸;

            SUS304耐腐蚀腔体;

            重量:5kg;

            触摸屏:7英寸;

            电源:DC24V直流电;



    标签:   显影